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Precursor Versorgung

Das System für Flüssig-Chemikalien wie TEOS, TEB, TEPO und TiCl4.

Das "CANDI"-System ist für die CVD Versorgung mit flüssigen Chemikalien entwickelt worden.

Die Entwicklung in Richtung Low-K-Dielectrics, High-K-Dielectrics und Barrier Metals ist eine der neuen Herausforderungen in der IC-Herstellung. Air Liquide arbeitet in diesem Bereich sehr eng mit Kunden, OEM Partnern und Material herstellern zusammen, um ihnen innovative Advanced Precursor Solutions anbieten zu können. Das Resultat ist das CANDI-System (Continous Adva nced Precursor Dispenser).

Im Überblick:

  • Redundante Sicherheits-Features

  • SEM1 S2-zertifiziert, CEM-getestet, CE-gekennzeichnet

  • Schnelle, einfache Wartung (PLC programmiert)

  • Bedienerfreundliches Touchscreen

  • Ununterbrochene Versorgung durch integrierten Tagestank

  • Hohe Up-Time

  • "Bulk-CANDY-System" für bis zu 40 tools erhältlich

Informationen zur Sicherheit
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