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Ventilbox

In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks).

In der "Valve Manifold Box" (VMB) oder "Ventilbox" wird die vom Gaskabinett kommende Prozessgasleitung aufgeteilt auf mehrere Stichleitungen (Sticks). Von diesen Stichleitungen ausgehend werden die Fertigungsmaschinen des Kunden angeschlossen ("Hook-Up").

Valve Manifold Box (VMB)

Vorteile und Ausstattung der Ventilbox:

  • Selbstschließende, dichtende Fenster

  • Hängende Befestigung

  • Abschließbare Tür

  • Sicherheitsglasscheibe

  • Abluftanschluß

  • Zuluftfilter

  • Sprinkleranschluß

  • Automatische Abschaltung

  • Standardpanel für alle Gasarten

  • Ersatzteile leicht austauschbar

  • Verbindungen VCR(r)-kompatibel oder orbitalverschweißt

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