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All Vapor Phase-Kabinette

Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen optimiert.

Das All Vapor Phase-Kabinett ist speziell für eine hohe Gas-Entnahme bei in der Flasche verflüssigten Gasen, wie z. B. für WF6, 3MS, DS, BCl3, C4F6, HCL, HBr, C4F8 etc. optimiert. Neben einer hohen Gas-Entnahme (> 200 %) liegt das Augenmerk bei diesem Kabinett auf sehr hoher Uptime, Erhaltung der Gasreinheit und reduzierter Cost of Ownership.

Die Steuerung überprüft ständig die Prozess-Parameter, um eine stetige gasförmige Entnahme sicherzustellen (s. auch Standardkabinette). Ausserdem führt sie sehr präzise, automatisch gesteuerte Spülzyklen durch und übernimmt alle Sicherheitsfunktionen.

Vorteile des AVP Kabinetts:

  • erhöht die Zuverlässigkeit

  • schließt Tröpfchenbildung aus: Reduziert Korrosion und Komponentenausfälle

  • verhindert Versorgungsunterbrechungen und Druckschwankungen

  • führt im Betrieb zu Kostenreduzierung

  • erhöht Entnahmemenge/Min bei Gasen mit niedrigem Dampfdruck bis zu dem Faktor 5.

Informationen zur Sicherheit
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