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Slurry Versorgung

Slurry Versorgungssysteme der AIR LIQUIDE (FabChem™ BCDS-CMP)

  • für alle Slurry-Arten (Oxide, Tungsten, Copper, ...)

  • hohe Up-Time

  • Redundante Systemkomponenten

  • Dynamische Druck- und Durchfluß-Kontrollen

  • Sichere Distribution

  • benutzerfreundliche Bedienung (Touchscreen)

Basissystem für fertige Slurries:

Das Basissystem wird für vorgemischtes Slurry eingesetzt. Es besteht aus Drum Unit, einem Tagestank sowie einer Distribution Unit. Bis zu 15 CMPs (tools) konnen an einen Loop angeschlossen werden, dabei herrscht gleicher Druck für alle CMP's (ΔP < 200 mbars). Das Monitoring kann durch FabView™ sichergestellt werden, die Betreibung durch ein TGCM (Total Gas- ans Chemical Management) der AIR LIQUIDE.

Optional zusätzlich: Bei einer Verdünnung kommt zusätzlich ein Verdünnungsmodul hinzu; bei Additiven dazu noch ein Misch-Modul.

Slurry System

Drum Unit

  • für Behälter bis zu 1200 Litern

  • Metall-verstärkte Kabinette

Drum Unit

Steuerung

Highlights

  • Prozess-Fluß-Diagramme

  • freie Parametereingaben (auch von analogen Sensoren)

  • Alarmlisten

  • Automatischer Wartungsmodus

  • Zähler für Ventilbetätigungen, Pumpen-Laufzeiten und mehr

  • Status-Anzeige von Detektionseinheiten

  • Verschiedene Access Codes

Optionales Verdünnungsmodul

Das Verdünnungsmodul nimmt die Verdünnung vor und transportiert das Gemisch in einen Tagestank. Die Größe des Mischtankes wird entsprechend des Verbrauches gewählt. Der Tank ist mit einer Waage versehen (Genauigkeit bis zu 100 g).

Die Einspritzung erfolgt durch zwei DI-Wasser Einspritz-Systeme; eines für große Mengen und eines für die Feinjustierung des Gemisches. Bei einem 10m3 Tank z.b. beträgt die Genauigkeit 0,005 %. Die Konzentration wird durch ein Assay Kontroll-System stets akurat gehalten.

Verdünnungsmodul

Optionales Misch-Modul

  • automatische Messung und Anpassung der Komponentenzusammensetzung (z.b. mit H2O2 in Metallslurries)

Misch-Modul

Informationen zur Sicherheit
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